Station laser monospot

Idéale pour l'injection de fautes, la station permet de focaliser un spot laser jusqu'à 1µm de taille

Image d'un composant à travers le silicium

L'image infrarouge haute définition permet de visualiser le spot et les pistes du composant à travers le silicium

Compatibilité des sources PDM

La station est compatible avec l'ensemble de la gamme PDM d'ALPhANOV pour des longueurs d'onde 976nm et 1064nm

Une large gamme d'objectifs

ALPhANOV propose une large gamme d'objectifs haute transmission

Un deuxième spot sur le côté ?

il est possible d'ajouter une fibre nue pour intégrer un second spot sur le côté
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Système microscope pour le test sur circuits intégrés

La plateforme laser monospot est un système optique et mécanique permettant la focalisation d'une source laser monomode sur un échantillon avec de hautes transmissions (>92%) pour des tailles de spots extrêmement petits (~1µm).

 

Idéale pour l'injection de fautes pour le test de circuits intégrés, cette plateforme intègre également une vision infrarouge haute résolution permettant de visualiser le composant et le spot laser à travers sa couche de silicium. L’ensemble du microscope est monté sur des axes XYZ de haute précision pour scanner l'échantillon. 

 

Principales caractéristiques :

  • Adaptée pour signaux optiques à 976nm et 1064nm issus de sources PDM+
  • Haute transmission : >92% (hors objectifs)
  • Taille de spot minimale : ~1µm
  • Vision IR haute définition
  • Résolution spatial des axes XYZ : 50nm
  • Arche en granit haute stabilité (750mm)
  • Large gamme d'objectifs disponibles

 

Options disponibles :

  • Enceinte sécurité laser certifiée CE
  • Dispositif pour un second spot sur le côté avec une fibre nue
  • Platine de rotation et tilt pour l'échantillon
  • Autres dimensions possibles sur demande

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