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Injection de fautes laser double spots - D-LMS

La station microscope pour l'injection de fautes laser D-LMS est une plateforme permettant de focaliser et de balayer de façon indépendante deux spots laser pour l'évaluation sécuritaire des circuits intégrés. Idéale pour les procédés d'injection double spot, elle offre toute la flexibilité spatiale et temporelle pour l'analyse des circuits part leur face arrière.

Référence produit : D-LMS - Double Laser Microscope Station

Deux spots laser indépendants dans le champ de l'objectif

Banc laser d'injection de fautes double spot
Banc laser d'injection de fautes double spot

La plateforme D-LMS d'injection de fautes laser intègre deux sources PDM indépendantes focalisées a travers le même objectif. Chaque spot laser d'une taille variable de 1µm à plusieurs dizaines de micromètres, peut se mouvoir de façon indépendante l'un de l'autre sur l'ensemble du champ de l'objectif. 

Ainsi, l'utilisateur peut aisément programmer chaque spot pour des scannes sur des zones stratégiques du circuit intégré tout en corrélant les effets de chacune des sources PDM+.

Si chaque spot peut se mouvoir de façon totalement indépendante dans le plan XY du champ de l'objectif, l'ensemble du microscope est lui aussi monté sur des axes XYZ de haute résolution (50nm) pour scanner au dessus de l'échantillon. 

 

L'indépendance et l'agilité temporelle des spots laser

Deux sources laser PDM ou PDM2 sont intégrées dans nos systèmes microscopes d'injection de fautes laser D-LMS. Ainsi, chaque source peut générer des impulsions temporellement indépendantes, ou bien synchronisées, avec ou sans délai pour une maîtrise temporelle totale.  

Source laser PDM
Source laser PDM

Ces lasers de la gamme PDM peuvent générer des impulsions à la demande, de durées inférieures à la nanoseconde, jusqu'au continu; du tir unique à 250 Mhz avec un jitter inférieur à 8 ps.  Cette maîtrise temporelle est indispensable pour pouvoir synchroniser les deux injections laser avec le fonctionnement du circuit.

Différents modèles de PDM peuvent être intégrés sur le banc D-LMS :

  • différentes longueur d'ondes disponibles pour la face arrière 980nm et/ou 1064nm,
  • différentes puissances (de 2W à 4W) dépendant de la sensibilité de l'échantillon et de l'épaisseur du silicium, 
  • le nouveau PDM HPP (High Pulse Performance) adapté pour des impulsions extrêmement courtes (sub-ns).

 

Spots laser visibles à travers le silicium d'un circuit

Une vision infrarouge de haute qualité 

Le microscope double spot (D-LMS) d'injection de fautes laser a été spécialement conçu pour obtenir les meilleures transmissions et performances optiques des deux spots laser quelque soit leur position dans le champ de l'objectif. Tout comme le banc S-LMS, ce système intègre un éclairage et une vision infrarouge de haute qualité. Ainsi, grâce à sa caméra IR de haute résolution, il est possible d'avoir une vue de qualité du circuit électronique via sa face arrière et en simultané, la vision des spots laser, même à travers plusieurs centaines de microns d'épaisseur de silicium. 

Un confort d'utilisation important pour pouvoir positionner les lasers à volonté, programmer les scannes ou inspecter/cartographier l'échantillon. 

 

Toute une gamme d'objectifs

ALPhANOV vous offre toute une gamme d'objectifs de haute performance en privilégiant la qualité optique, l'ouverture numérique pour une meilleure résolution et la forte transmission. Le banc D-LMS peut intégrer jusqu'à 4 objectifs via une tourelle manuelle ou 5 objectifs via une tourelle motorisée. Vous pourrez choisir les grossissements les mieux adaptés, de l'objectif 50X offrant les plus fines tailles de spot, à l'objectif 2.5X pour une vision globale de l'échantillon ou des tailles de spots plus gros pour des scans plus rapides. 

 
Banc laser pilotable par le logiciel EsDynamic
Banc laser pilotable par le logiciel EsDynamic

Le software de pilotage : un partenariat fort avec e-Shard

Nos bancs sont désormais pilotables via le logiciel EsDynamic de la société eShard. Une plateforme puissante qui vous permettra d'utiliser des notebooks développés spécialement en python, dans un environnement JupyterLab, d'y intégrer vos propres développements et de synthétiser et analyser vos résultats. L'EsDynamic est une plateforme également utilisée pour l'analyse side-channel.  

 

Une plateforme pour de multiples fonctionnalités

Experts en optique et laser, ALPhANOV adapte ses systèmes laser à vos projets, à votre budget et à vos compétences. Du banc sur-mesure au banc clef en main, nous concevons pour vous la meilleure solution allant du simple microscope à la machine complète automatisée et intégrant une enceinte de sécurité laser certifiée CE montée sur table optique active.

Le système S-LMS (simple spot) ou D-LMS (double spot) sont désormais compatibles avec les toutes dernières nouveautés pour l'évaluation sécuritaire des circuits intégrés :

  • L'analyse du composant par photoémission
  • L'analyse du composant par stimulation thermique
  • L'injection de fautes par impulsions extrêmement courtes avec le tout nouveau PDM-HPP
  • Chaque année, ALPhANOV propose sur le marché des évolutions et des améliorations de ses bancs laser. 

 

Caractéristiques du produit

  • Deux spots laser indépendants à 980 et/ou 1064 nm 
  • Tailles des spot variables de 1 µm à 13 µm
  • Vision et éclairage IR coaxiale pour la face arrière
  • Durée d'impulsions variable de 1ns au continu, du tir unique à 250 MHz. 
  • Jitter <8 ps
  • Transmission >70%
  • Programmable et pilotable en Python
Banc laser double spot

 

Options

  • Enceinte de sécurité laser certifiée CE 
  • Kit de photoémission
  • Voie laser pour la stimulation thermique
  • Plateforme sofware esDynamic de eShard
Enceinte de sécurité laser

Fiche produit

 

Datasheet Double Spot laser

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