La station microscope pour l'injection de fautes S-LMS est une plateforme de haute précision pour l'évaluation sécuritaire des circuits intégrés. Elle permet de focaliser le spot laser et de balayer l'échantillon à travers sa face arrière afin d'évaluer les niveaux de sécurité des composants électroniques.

Référence produit : S-LMS

La précision d'un spot laser d'un micron

La plateforme S-LMS d'injection de fautes intègre des optiques conçues minutieusement par nos équipes pour focaliser la source laser avec des tailles de spots les plus petits possibles (1 µm) avec la plus haute transmission possible (>90%). Toute la puissance de la source laser PDM+ couplée au microscope est disponible sur un spot circulaire extrêmement fin, focalisé sur la zone active du composant, à travers le silicium de la face arrière. Monté sur des axes XYZ de haute résolution, le système microscope permet de scanner l'échantillon avec une résolution de 50 nm. 

La précision temporelle du laser

Le laser PDM intégré dans nos systèmes microscopes d'injection de fautes permet un contrôle extrêmement précis, à 8 ps près, du moment où l'impulsion laser impacte le circuit électronique. Cette maîtrise temporelle est indispensable pour pouvoir synchroniser l'injection laser avec le fonctionnement du circuit. Ce laser PDM peut générer des impulsions à la demande inférieure à la nanoseconde, jusqu'au continu; du tir unique à 250 Mhz. 

Différents modèles de PDM+ peuvent être intégrés sur le banc S-LMS :

• différentes longueur d'ondes disponibles pour la face arrière 980 nm et/ou 1064 nm,
• différentes puissances (de 2 W à 10 W) dépendant de la sensibilité de vos échantillons et de l'épaisseur du silicium, 
• le nouveau PDM HPP (High Pulse Performance) adapté pour des impulsions extrêmement courtes (sub-ns)

Une vision infrarouge de haute qualité 

Le microscope S-LMS d'injection de fautes intègre également un éclairage et une vision infrarouge coaxiale de haute qualité. Ainsi, grâce à sa caméra IR de haute résolution, il est possible d'avoir une vue de qualité du circuit électronique via sa face arrière et en simultané, la vision du spot laser même à travers plusieurs centaines de microns d'épaisseur. Un confort d'utilisation important pour pouvoir positionner le laser à volonté, inspecter ou cartographier l'échantillon. 

Une large gamme d'objectifs

ALPhANOV vous offre toute une gamme d'objectifs de haute performance en privilégiant la qualité optique, l'ouverture numérique pour une meilleure résolution et la forte transmission. Le banc S-LMS peut intégrer jusqu'à 4 objectifs via une tourelle manuelle ou 5 objectifs via une tourelle motorisée. Vous pourrez choisir les grossissements les mieux adaptés, de l'objectif 50X offrant les plus fines tailles de spot, à l'objectif 2.5X pour une vision globale de l'échantillon ou des tailles de spots plus gros pour des scans plus rapides. 

Le software de pilotage : un partenariat fort avec e-Shard

Nos bancs sont pilotables via le logiciel esDynamic de la société e-Shard. Une plateforme puissante qui vous permettra d'utiliser des notebooks développés dans un environnement python, d'y intégrer vos propres développements et de synthétiser et analyser vos résultats. L'esDynamic est une plateforme également utilisée pour l'analyse side-channel.

Un banc d'injection de fautes évolutif 

Experts en optique et laser, ALPhANOV adapte ses systèmes laser à vos projets, à votre budget et à vos compétences. Du banc sur-mesure conçu spécialement, au banc clef en main, nous concevons pour vous la meilleure solution allant du simple microscope à la machine complète, automatisée et intégrant une enceinte de sécurité laser certifiée CE, montée sur table optique active.

Chaque année, ALPhANOV propose sur le marché des évolutions et des améliorations de ses bancs laser. Régulièrement, il vous est possible de mettre à jour votre système avec les dernières avancées technologiques, afin de rester à l'état de l'art. Désormais, il est par exemple possible d'implémenter sur un banc S-LMS, les fonctions de Photoémission, ou de Stimulation Thermique. 

Caractéristiques du produit

• Laser monomode à 980 et/ou 1064 nm
• Impulsions sub-ns au continu
• Précision temporelle <8 ps
• Fréquence jusqu'à 250 MHz
• >92% de transmission 
• Vision IR coaxiale
• Programmable et pilotable par Python

 

Fiche produit

Single laser microscope station